従来放電といえば減圧状態あるいは真空状態で処理を行うものがほとんどでした。そうした中で、減圧を必要としない大気圧での放電が開発されてきました。
大気圧下で放電が可能になるということは、従来必要とされてきた減圧工程が不要になり、工程の時間短縮につながり、連続作業が可能になります。
これによって樹脂フィルムや金属表面の処理技術の連続作業が可能になってきました。
大気圧誘電体バリア放電とは向かい合った2つの電極の一方あるいは両方の表面を誘電体で覆うことで誘電体に電荷をチャージすることによって放電を発生させますが電荷がチャージされると電極間の電圧差が小さくなり、放電が止まりアーク放電まで発展しません。
これにパルス電圧を印加することで放電がアーク放電に移行する前に電圧を切るということを繰り返しながら放電をさせますので温度が上がりません。
さらに、誘電体を工夫することで誘電体間のギャップを小さくして省電力で放電をさせることが可能になります。弊社の技術は長年培われたナノテクノロジーの応用によって誘電体を突き詰める中で開発することが出来ました。
その結果、写真のような素子の小型化軽量化も可能になりました。
