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プラズマ発生ヘッドの形状の自由度

 大気圧バリア放電のプラズマヘッドは2つの対向する電極と高耐電圧の誘電体によって形成されます。

 

 更に誘電体にはプラズマの強い酸化力によっても電極としての金属が酸化されることのない素材であることが要求されます。

 もし、プラズマの酸化力によって金属の酸化が進むと金属表面が削り取られるような現象が発生してしまい対向する電極としての金属の距離が変化してしまいます。この結果、電極としての金属間の距離が次第に離れていってしまいます。電極間の距離が離れることによって次第にプラズマが発生しにくい状況が出来てしまい、最終的にはプラズマが発生しないということになってしまいます。

 

 そこで、通常の大気圧バリア放電においては、誘電体はセラミックガラスが使われることが多くなり、結果としてプラズマ発生ヘッドの形状の自由度が失われてしまいます。プラズマ発生ヘッドの形状が固定化されてしまうことは、求める効果に対する最適なプラズマ発生ヘッドの形状を作り出すことが難しくなるという結果につながります。

 

 しかし、ここでご紹介している大気圧バリア放電方式によるプラズマ発生方法に用いる誘電体は今までと全く異なる発想で構成されているために、プラズマ発生ヘッドの形状に自由度をもたせることが可能です。プラズマの効果を発生させたい被対象物が複雑な3次元形状である場合あるいは3次元空間である場合にはプラズマヘッドもそれに近い3次元形状であることが望ましいのは言うまでもありません。

 

 今回はそんなプラズマヘッドの例をご紹介します。

 

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平面上に構成したプラズマ発生ヘッド

 

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リング状に形成したプラズマ発生ヘッド

 このようにご紹介している誘電体を用いることによって自由にプラズマ発生ヘッドの形状がコントロール出来ます。