先日誘電体について触れましたが、今日はどのようにして出来上がって行くかをご紹介します。
まず、すっかり酸化膜が形成されてしまっている銅板に誘電体膜を形成します。
サンドペーパーの＃１２０→＃６００→＃１０００と細かくしていって酸化膜を取り除きます。
きれいになった銅の表面に誘電体の原材料となる液体を垂らします。
ウエットでの膜圧が２０μ程度になるように塗布し、乾燥を行います。
乾燥後は銅にピッタリと密着し、プラズマの高電圧にも耐える誘電体膜が出来上がります。
このようにして、液体→塗布→乾燥の工程で誘電体膜を形成出来ますから、電極の形状が複雑な三次元形状のようなものであっても問題なく誘電体を形成したプラズマ発生用電極を作ることが出来ます。
