平面状プラズマ発生素子

　プラズマの用途は多く、プラズマ処理をする対象物も様々なものや様々な形状が存在します。今回手がけているのは、平面状に均一にプラズマを発生することが出来る素子になります。

　このような平面状の発生素子が出来る事によって対象物が平面状であるものだけでなく、平面状の素子を丸めることによって円筒状の対象物などにも均一なプラズマ照射が可能になります。

　金属＋誘電体＋金属の組み合わせで様々な可能性が広がっています。

　誘電体バリア放電というと巻線という概念が強いですが、弊社の誘電体を用いることによって、平面状だけでなく様々な形状でプラズマを発生させることが可能になります。