プラズマの用途は多く、プラズマ処理をする対象物も様々なものや様々な形状が存在します。今回手がけているのは、平面状に均一にプラズマを発生することが出来る素子になります。 このような平面状の発生素子が出来る事によって対象物が平面状であるものだけ…
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