大気圧バリア放電、プラズマ、殺菌、脱臭、表面処理、有害ガス分解、環境対策、カビ、ウイルス、耐熱性薄膜

世界一安いプラズマ技術の提供を目指して

いろんなことに興味をもつ技術者の日々の心境の変化を披露します。

誘電体薄膜

電気を溜められる素材として誘電体が使われています。素材は様々でセラミックであったりアルミであったりタンタル・樹脂フィルムであったりします。さらに最近では電池材料としてのリチウムなんかも有名です。

ただ、もっと安価に誘電体を作ることが出来ないかと開発を進めてきました。
現状ではこんな風に誘電体薄膜が出来ています。


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アルミ板の上に塗布し、乾燥した薄膜です。
右上の赤い丸は静電容量を測定するためにつけた電極です。
この程度の薄膜で電極面積φ6.0mm1.1μFという静電容量を測定できています。
静電容量としては十分な性能ではないでしょうか。
これはコンデンサの一般的な性質を持っていますからもっと薄い膜が形成できれば性能はもっと上がっていきます。
これを利用してコンデンサスーパーキャパシタ等の製品開発は可能性が高いと考えています。
そしてこの誘電体の開発が熱電変換素子の開発につながっていきました。
熱電変換素子の技術については次回で説明します。
ところでこの薄膜の表面もこんな風に撥水性があります。


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これをプラズマを使うのではなくて一瞬にして親水性に変化させる方法も見つけ出しています。その辺はおいおい説明していきます。